北崎HORIBA堀場MU-3000多組分氣體混合裝置

北崎HORIBA堀場MU-3000多組分氣體混合裝置

濃度穩(wěn)定的氣體生成

質量流量控制可生成濃度準確的混合氣體，而不受供給壓力或環(huán)境溫度變化的影響。

配備多氣體/多范圍功能模型質量流量控制器，支持多種氣體類型，允許客戶改變氣體類型和流量范圍。

易于使用的

專用軟件可讓您輕松設置生成氣體的流量和氣體濃度。

它具有編程功能，因此您可以創(chuàng)建自己喜歡的食譜。

兼容多種流量

兼容多種流量，從微小流量（幾個 SCCM）到大流量。

駕駛模式

手動：每條MFC線均可手動操作。

自動：根據(jù)預設配方（程序）進行操作。

本地：從 PC 啟動配方/停止配方（可選擇暫停）

遠程：通過外部信號啟動配方/停止配方（可選擇暫停）

顯示功能

瞬時流量設定值/瞬時流量值/累計流量顯示/總發(fā)生流量值/總發(fā)生流量累計值

可以設定并顯示產(chǎn)生的氣體濃度值。

電磁閥開/關狀態(tài)

配方運行狀態(tài)顯示（顯示各步驟的剩余步驟）

配方創(chuàng)建功能（程序功能）

每行最多可創(chuàng)建 50 個步驟的程序。

（包括斜坡上升/下降功能）

自帶循環(huán)功能

配方記憶功能/配方確認功能

每個流量的記錄功能

由于可以記錄產(chǎn)生的氣體的流量，因此可以保留操作狀態(tài)的記錄。

MFC自動調零功能

可通過 PC 軟件進行自動調零。

報警功能

●流量異常 ●外部異常報警 ●通訊異常

配備寬范圍MFC

配置軟件該

裝置配備了 MFC，允許客戶更改氣體類型和流量范圍。

您可以使用專用軟件（配置軟件）輕松更改 MFC 規(guī)格，而無需拆卸 MFC。

即使您更改MFC氣體類型或流量范圍，控制軟件也會自動加載MFC信息，使更改后的初始設置變得容易。

易于改變氣體類型

MFC的多氣體功能可以讓您輕松改變氣體類型。無需使用轉換系數(shù)進行校正，并且可以精確控制流量，因此在更換多個氣瓶時使用時非常有效。

寬范圍濃度產(chǎn)生

MFC的多范圍功能可以在不增加MFC的情況下大大擴展混合氣體的濃度范圍。由于可以在較寬的濃度范圍內生成，因此可以減少MFC生產(chǎn)線的數(shù)量并降低成本。

我司代理及優(yōu)勢品牌一覽明細：

代理品牌：CCS晰寫速 SEN日森、EYE巖崎、REVOX萊寶克斯、SERIC索萊克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林時計、NPM日脈

NS日本科學、DRY-CABI東利繁、TOKISANGYO東機、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

優(yōu)勢品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龍、ORC歐阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂詰、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU電色、KKIMAC

S-VANS斯萬斯、ORIHARA折原、LUCEO魯機歐、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光學

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA東亞電波、OKANO岡野

IMV艾目微、MITUTOYO三豐、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三榮

HEIDON新東、KURABO倉紡、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA駿河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME碼控美、EIWA榮和、EXCEL艾庫斯、YODOGAWA淀川等

優(yōu)勢產(chǎn)品：日本紫外線照度計、紫外線裝置燈管、LED視覺光源、表面檢查燈、手持檢測燈

變色燈箱、色差儀、鹵素光源裝置、應力表面檢查儀、LED光源機、電子天平、粘度計、膜厚計，恒流泵、采樣泵、PH計、水分計、地震測試儀、脫泡攪拌機、壓力傳感器、氣體檢測儀，接近開關、拉拔機、異音檢測儀、下死點檢測裝置、空氣測量泵、應變測試儀等期待您的咨詢。

日本供應HORIBA堀場氣體混合裝置MU-220