原裝供應(yīng)EBARA荏原干式真空泵EV-M805SF

產(chǎn)品簡介
原裝供應(yīng)EBARA荏原干式真空泵EV-M805SF
干式真空泵是節(jié)能、高負(fù)荷工藝的理想選擇
能夠在重負(fù)荷下進(jìn)行處理
兼容高溫控制
節(jié)能
采用耐腐蝕材料標(biāo)準(zhǔn)
耐腐蝕性增強(qiáng)選項(xiàng)
在不同頻率下具有相同的性能（50/60 Hz）
油
提供 CE 標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL

產(chǎn)品型號(hào)：日本

更新時(shí)間：2025-10-10

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

訪問量：292

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

EBARA荏原

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原裝供應(yīng)EBARA荏原干式真空泵EV-M805SF

荏原（EBARA）高溫技術(shù)支持高負(fù)荷工藝，在半導(dǎo)體、液晶和太陽能電池的制造過程中會(huì)產(chǎn)生反應(yīng)副產(chǎn)物。由于其高節(jié)能性能，可以處理高負(fù)載過程并同時(shí)節(jié)省能源。標(biāo)配耐腐蝕材料，還提供排量為 110,000 L/min 的大排量型號(hào)。憑借根據(jù)工藝條件的豐富產(chǎn)品陣容，可以處理各種高負(fù)荷工藝。

EV-M102N 系列	EV-M202N 系列	EV-M302N 系列	EV-M502N 系列	EV-M505SF 系列	EV-M802N	EV-M805SF	EV-M1205SF
抽速		升/分鐘	1,800	10,000	20,000	30,000	50,000	50,000	80,000	80,000	110,000
極限壓力		帕	5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
連接直徑	進(jìn)氣口		西北 40	ISO100 認(rèn)證	ISO100 認(rèn)證	ISO100 認(rèn)證	ISO160 認(rèn)證	ISO160 認(rèn)證	ISO200 認(rèn)證	ISO200 認(rèn)證	ISO200 認(rèn)證
連接直徑	排氣口		西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40	西北 40
極限壓力下的近似功率		千瓦	1.2	1.8	1.9	2.3	2.1	3.9	2.8	4.6	5.3
冷卻水	流量	升/分鐘	3~8	3~8	3.5~8	4~8	5~8	5~8	5~8	5~8	5~8
冷卻水	溫度	°C	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)	最多 30 個(gè)
注 2	流量	帕•m3/秒	26~31	26~31	26~31	26~31	28~33	228	28~33	228	34~35
電源相位/電壓/頻率	200V 型號(hào)		三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz	三相/200V/50Hz 三相/200-220V/60Hz
電源相位/電壓/頻率	400V 型號(hào)		三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	-	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz	三相/380-400V/50Hz 三相/380-440V/60Hz
電源容量		千伏安	3.3	5.4	6	6.8	7.1	15.7	8.3	19.4	14.2
近似質(zhì)量		公斤	170	320	360	400	500	580	740	820	870