ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機(jī)械增壓泵

產(chǎn)品簡介
ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機(jī)械增壓泵
“Model：PRC" 是一種機(jī)械式增壓泵，主要用于需要特別清潔度的半導(dǎo)體和液晶制造工藝。
采用封閉電機(jī)，油不會從軸封中泄漏。也可以選擇大氣壓驅(qū)動類型作為選項(xiàng)。

產(chǎn)品型號：北崎供應(yīng)

更新時(shí)間：2025-10-11

廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商

訪問量：179

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產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

ULVAC愛發(fā)科

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ULVAC愛發(fā)科PRC-003A機(jī)械增壓泵

由于無

油套管腔中沒有潤滑油，因此即使對水蒸氣等蒸汽和溶劑也能獲得穩(wěn)定的性能。

屏蔽電機(jī)通過采用屏蔽電機(jī)，

我們能夠消除大氣/真空的機(jī)械密封。無需擔(dān)心漏油，可在清潔的環(huán)境中使用。

具有優(yōu)異耐腐蝕性的

表面處理主要部件采用陽極氧化處理，表面硬度高，耐腐蝕性優(yōu)異，抑制了泵內(nèi)部的劃痕和腐蝕。還提供可選的表面處理。

由于它可以與常壓驅(qū)動型（選項(xiàng)：變頻）

粗抽泵同時(shí)啟動，從而有效地縮短了抽氣時(shí)間，因此與標(biāo)準(zhǔn)型相比，可以縮短排氣時(shí)間。

除了針對特殊應(yīng)用的標(biāo)準(zhǔn)可選支持

外，還提供用于特殊應(yīng)用的型號。

氣相沉積、濺射、離子鍍

真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣

分析儀器，泄漏測試設(shè)備

氣體置換、填充、真空絕熱

熱處理爐、熔煉爐

其他真空設(shè)備

型號 *1			PRC-003A 系列	PRC-006A 系列	PRC-012A 系列	PRC-018A 系列
最大抽速		50 赫茲	280米³/h （4670 升/分鐘）	500 米³/h （8330 升/分鐘）	1000 米³/h （16700 升/分鐘）	1500米³/h （25000 升/分鐘）
		60 赫茲	330 米³/h （5500 升/分鐘）	600米³/h （10000 升/分鐘）	1200米³/h （20000 升/分鐘）	1800 米³/h （30000 升/分鐘）
最大吸入壓力		50 赫茲	1.2 x 10³帕	1.3 x 10³帕		1.2 x 10³帕
		60 赫茲	約9.3 x 10²帕	1.1 x 10³帕		約9.3 x 10²帕
最大允許壓差		50 赫茲	4.0 x 10³帕	7.3 x 10³帕		4.3 x 10³帕
		60 赫茲	3.3 x 10³帕	6.0 x 10³帕		3.2 x 10³帕
極限壓力 *2			4.0 x 10^-1帕		6.7 x 10^-1帕
可驅(qū)動壓力			~1.0 x 10⁵PA （大氣壓力驅(qū)動）
電機(jī) *3	格式		屏蔽式三相異步電動機(jī)
	高效級		ー
	輸出		0.75 kW （2 極）	2.2 kW （2 極數(shù)）	3.7 kW （2 極數(shù)）	5.5 kW （2 極）
	電壓（200V 級電機(jī)）	50 赫茲	200 伏
		60 赫茲	200/220 伏
使用油 *4			ULVOIL R-42
所需油量			0.7 升	1.5 升	1.9 升
冷卻方式			水冷式
冷卻水	入口壓力		0.3 米帕
	入口壓差		0.01 Mpa 或更高
	冷卻水量		2 升/分鐘		3 升/分鐘
	冷卻水溫度 *5		5 ~ 30 °C
進(jìn)氣口 JIS-B-2290			VG80 等效值		VG100 等效值	相當(dāng)于 VG150
排氣孔 JIS-B-2290			相當(dāng)于 VF80			相當(dāng)于 VF100
尺寸 W×D×H *6			296×575×260 毫米	356×619×320 毫米	406×759×340 毫米	406×989×340 毫米
質(zhì)量			51 千克	86 千克	118 千克	150 千克
標(biāo)準(zhǔn)輔助泵			VD60C 系列	VD90C 系列	VS2401 系列	VS2401 系列
標(biāo)準(zhǔn)配件			使用說明書 1 份，1 單位油